第一代：點測量
    代表系統(tǒng)有：三坐標測量儀；點激光測量儀；關(guān)節(jié)臂掃描儀（精度不高）通過每一次的測量點反映物體表面特征，優(yōu)點是精度高，但速度慢，如果要做逆向工程，只能在測量較規(guī)則物體上有優(yōu)勢。
    定義：適合做物體表面誤差檢測用。
第二代：線測量
    代表系統(tǒng)有：三維臺式激光掃描儀，三維手持式激光掃描儀，關(guān)節(jié)臂＋激光掃描頭。通過一段（一般為幾公分，激光線過長會發(fā)散）有效的激光線照射物體表面，再通過傳感器得到物體表面數(shù)據(jù)信息。
    定義：適合掃描中小件物體，掃描景深?。ㄒ话阒挥?公分），精度較低，此代系統(tǒng)是過渡性產(chǎn)品。
第三代：面掃描
    代表系統(tǒng)：三維掃描儀（結(jié)構(gòu)光、光柵式掃描儀），三維攝影測量系統(tǒng)等。通過一組（一面光）光柵的位移，再同時經(jīng)過傳感器而采集到物體表面的數(shù)據(jù)信息。
    定義：適合大中小物體的掃描，精度較，掃描速度極快（精易迅三維掃描儀單面400×300mm 面積，時間≤5秒），測量景深很大，一般為300-500mm，甚至更大。